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蓝宝石有氧退火炉

日期:2019/7/26 12:50:36

 

    蓝宝石 (Sapphire) 是一种氧化铝 ( α- Al2O3) 的单晶,又称为刚玉。 蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性,强度高、硬度大、耐冲刷,可在接近 2000 高温的恶劣条件下工作,因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体 GaN/Al2O3 发光二极管 (LED) ,大规模集成电路 SOI SOS 及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料。

在蓝宝石衬底的切割、双面研磨以及单面研磨、抛光过程中,尽管部分的加工应力会在下一道加工工序释放,但是这种应力释放是无序释放,同时未释放的加工应力会在晶片表面集聚,影响蓝宝石晶片的翘曲程度,严重的翘曲会在后道加工过程产生破片,影响整个加工循环的晶片质量。

        蓝宝石衬底在加工过程中,必须经过退火处理以降低加工应力。

有氧退火炉

 

 

 

特点

蓝宝石晶棒退火(有氧退火)

  • 去应力:使蓝宝石便于加工,切屑。
  • 消除应力集中,避免晶体自动开裂,以及加工中产生裂纹、爆口等。
  • 退火温度以达到其熔点附近最佳,升温速率不宜过快,直径越大,保温时间应越长;降温时间应大于升温时间,避免再次产生应力。                                                              

去色心:使蓝宝石更透明,透光更好。

技术参数  

典型应用

  • 蓝宝石晶体退火
     

 

 

 

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